خصائص أجهزة استشعار الضغط السيليكونية المنتشرة

بالمقارنة مع أجهزة الاستشعار ذات المبادئ الأخرى، فإن أجهزة استشعار ضغط السيليكون المنتشرة لها الخصائص التالية:

1. مناسبة لصنع أجهزة استشعار صغيرة المدى. لا يحتوي التأثير التجويف للمقاوم الحساس للقوة لشريحة السيليكون على منطقة ميتة في النطاق المنخفض بالقرب من الصفر، ويمكن أن يكون نطاق مستشعر الضغط صغيرًا يصل إلى عدة Kpa.

2. حساسية عالية للإخراج. عامل الحساسية لمقاومة إجهاد السيليكون أعلى 50-100 مرة من عامل الحساسية لمقياس إجهاد المعدن، وبالتالي فإن حساسية المستشعر المقابل عالية جدًا، ويبلغ خرج النطاق العام حوالي 100 مللي فولت. لذلك، لا توجد متطلبات خاصة لدائرة الواجهة، وهي أكثر ملاءمة للاستخدام.

3. دقة عالية. نظرًا لأن الاستشعار والتحويل الحساس واكتشاف المستشعر يتم تحقيقه بواسطة نفس المكون، فلا يوجد رابط تحويل وسيط، وتكون أخطاء التكرار والتباطؤ صغيرة. نظرًا لأن السيليكون أحادي البلورة نفسه يتمتع بصلابة كبيرة وتشوه قليل، فإن الخطية الجيدة مضمونة.

4. نظرًا للتشوه المنخفض لوحدة العمل بترتيب الانفعال الجزئي، فإن الحد الأقصى للإزاحة للرقاقة المرنة يكون بترتيب ميكرون فرعي، لذلك لا يوجد تآكل ولا تعب ولا شيخوخة والخدمة العمر الافتراضي يصل إلى 1 × 103 دورات ضغط، مع أداء مستقر وموثوقية عالية.

5. نظرًا للأداء الكيميائي الممتاز المضاد للتآكل للسيليكون، فإن مستشعرات ضغط السيليكون المنتشرة غير المعزولة لديها درجة كبيرة من القدرة على التكيف مع الوسائط المختلفة.

6. بما أن الشريحة تعتمد تكنولوجيا متكاملة ولا تحتوي على أجزاء نقل، فهي صغيرة الحجم وخفيفة الوزن.

أي سؤال حول لديناUB1جهاز إرسال ضغط السيليكون، يرجى الاتصالستيلا منغ.